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蓝宝石衬底抛光机的应用前景


  蓝宝石衬底抛光机的应用前景
  东莞市飞越机械厂专业生产抛光机多年,对各种材料的平面研磨与抛光有着非常深厚的经验。尤其是现在应用于光电行业的光学玻璃如蓝宝石衬底抛光机等,我司有专门的技术部门来对它进行研究。
  对于用作光电子材料的表面加工,迫切要求的是最终的几何形状和精度要高,如加工变质层极小,而且是保持晶体理想的无变形面。而传统的加工方法存在诸多问题,难以满足这些加工要求。如蓝宝石衬底抛光机械抛光方法具有较高的加工精度和加工效率,但表面质量不能完全达到要求,化学抛光可以得到没有加工变质层的平滑表面,却在加工精度和加工效率上存在一些问题。 针对水合抛光机这种少无损伤加工方式进行了深入的研究。本文在系统地分析了各种研磨运动方式后,选择了主动驱动和摆动两种抛光方式作为研究对象。运用运动学、统计学以及计算机仿真技术,系统地模拟了水合抛光中抛光盘与工件的相对运动规律、工件的表面加工均匀性、抛光盘的结构变化对抛光均匀性的影响和水合抛光过程中抛光温度场的分布情况。最后通过单晶蓝宝石的水合抛光试验对计算机仿真分析方法进行了验证,证明了计算机仿真方法的有效性。将计算机仿真分析方法直接用于指导实际加工过程,既能够提高研磨效率,又可以降低加工成本,具有广泛的应用前景。

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